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内容简介:
一本突出微纳运动系统结构、工作原理及微纳运动实现技术等微纳制造共性关键技术的新著作。
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作者简介:
冯显英，1965年10月出生，中共党员，教授、博士生导师。中国机械工程学会高级会员、机器人分会委员，国家科学技术奖励、国家自然科学基金、教育部国家留学基金等评审专家，国内外多家学术期刊特约审稿人。1998年获得博士学位，同年晋升为副教授，2001年9月至2003年1月在新加坡科技学院（现新加坡理工大学）进行合作研究，2003年晋升为教授、博士生导师。研究方向为智能检测与控制理论及技术、微纳超精加工理论与技术、机器人等智能装备理论与技术等。参加工作30余年来，一直从事机电一体化教学与科学研究工作，具有丰富的跨学科科研阅历和实际经验。近几年来，先后完成国家自然科学基金、国家重点研发计划等国*级项目8项，省部级重大专项等各类项目8项，授权发明专利10余项、实用新型专利30余项，完成企业委托项目50余项。其中多项课题成果已产业化，具有良好的经济效益和社会效益。发表学术论文90余篇，其中收录于SCI/EI 50余篇。主编、合著图书5部。获省部级科技进步奖二、三等奖及市级科技成果奖励多项。
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目录:
第1章绪论（1）
1.1微纳技术的理解（1）
1.2微纳技术的应用（3）
1.3微纳运动实现技术及进展（22）
第2章智能材料微纳驱动技术（31）
2.1概述（31）
2.2形状记忆合金微纳驱动技术（32）
2.3超磁致伸缩材料微纳驱动技术（38）
2.4压电陶瓷微纳驱动技术（41）
2.5热微纳机电驱动技术（50）
第3章微纳运动的传感检测（54）
3.1概述（54）
3.2微纳位移传感技术（54）
3.3激光干涉微纳检测技术（74）
3.4其他先进微纳检测技术（80）
第4章微纳运动控制技术（83）
4.1概述（83）
4.2常用微纳运动控制策略（83）
4.3其他先进控制策略及研究（100）
第5章直线电机微纳运动系统技术（103）
5.1概述（103）
5.2电磁式直线电机微纳运动系统（104）
5.3压电超声电机微纳运动系统（110）
第6章宏微复合微纳运动实现技术（120）
6.1概述（120）
6.2宏微复合微纳运动系统（121）
6.3宏微复合微纳运动系统的非线性影响及控制（124）
6.4宏微复合微纳运动系统应用（135）
第7章宏宏复合微纳运动实现技术（138）
7.1宏宏复合微纳运动系统工作原理（138）
7.2宏宏复合微纳运动系统的动力学模型（144）
7.3宏宏复合微纳运动系统的低速特性（152）
参考文献（164）
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