《薄膜物理与电子技术》梁继然 科学出版社 2024/12/1
内容简介：
本书针对电子科学与技术、集成电路设计与集成系统的专业特点和需求，将现有的薄膜科学技术发展前沿成果与薄膜物理基础相结合，围绕集成电路、电子器件的要求，建立包含制备工艺、微纳结构、电学性能在内的完整的知识体系，使学生了解工艺、结构、性能之间的影响关系，引导学生利用薄膜的基础知识解决新的工程技术或科学问题，提升学生进行薄膜工艺设计、薄膜性能探索的能力。
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