《基于空间光调制器的光场调控技术》翟中生科学出版社 2024/11/1

内容简介：

本书主要利用空间光调制器的可编程特性，分析其模拟光栅、透镜、轴锥镜等光学器件的原理，并利用这些器件实现灵活的光场调控。本书介绍的光场调控技术主要有：将单光束变为能量、数量、位置可控的二维和三维空间多光束；将光束聚焦成轴向光强可控的线光束；将圆形高斯光束整形为高均匀性、高能量利用率的多形状光束和自加速光束；将线偏振光变换为多偏振态光和涡旋光等。这些技术的应用主要有：半导体晶圆切割、多截面成像、二维码的高效加工、不同偏振态在材料中的加工等。

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