《薄膜物理与技术（沈杰）》沈杰、梅永丰 等 编著 化学工业出版社 2024/5/1
内容简介：
《薄膜物理与技术》主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识，重点讲述了薄膜生长基础，薄膜生长技术，包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等，并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
本书可作为高等学校材料科学与工程、电子科学与技术、微电子、光学等专业的本科生或研究生的教材或教学参考书，也可供从事相关行业的工程技术人员参考使用。
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