《等离子体与功能电介质应用》张嘉伟，张建威主编电子工业出版社 2025/1/1

内容简介：

本书涵盖等离子体与功能电介质的基本理论及其在多个领域中的具体应用。全书共7章。第1章为绪论，对等离子体和功能电介质进行了简要的介绍；第2章为功能电介质的等离子体改性，介绍了等离子体技术与功能电介质在特高压输电中的应用；第3章为功能电介质极化及老化，分析了功能电介质的极化和老化现象；第4章为功能电介质及传感技术，介绍了传感器的基本原理及应用；第5章为等离子体仿真技术，介绍了现有的等离子体数值模型；第6章和第7章分别为半导体中的等离子体刻蚀和等离子体放电催化，展示了等离子体与功能电介质在半导体及催化领域的应用。

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