《射频等离子体物理基础》王友年科学出版社 2024/5/1

内容简介：

本书是根据作者近几年在大连理工大学等离子体物理专业硕士和博士研究生授课讲义的基础上编写而成的。本书做了如下改革：（1）由于我国在低温等离子体物理方面的教材短缺，本书力求突出低温、低气压等离子体的特点，系统介绍低温等离子体的基本概念、基本模型和基本原理。（2）为了突出低温等离子体在半导体工业中的应用，本书后几章将重点介绍射频和微波放电的基本原理和物理现象。内容包括：低温等离子体中的碰撞过程和碰撞截面；描述低温等离子体的基本模型：粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运；低气压放电：直流放电、射频鞘层、容性耦合放电、甚高频放电的驻波效应、感性耦合放电、螺旋波放电、微波放电。

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