《金刚石膜粒子探测器材料》夏义本科学出版社 2021/11/1

内容简介：

本书从金刚石膜晶体机构、光电及热性能等基本概念出发，描述膜的制备工艺；在成功制得[100]定向金刚石膜基础上，对它和其它晶面取向的CVD金刚石膜进行全面的表征；介绍了金刚石薄膜肖特基场效应晶体管和金刚石薄膜紫外光探测器。在此基础上研究了金刚石膜粒子探测器的制备工艺，并通过所设计的信号处理系统测量得到在不同粒子辐照下的探测器的响应特性，研制出能有效工作于高温下（650C左右）、高速响应、抗辐射能力强并具有好的能量分辨能力的CVD金刚石列阵粒子探测器，为金刚石象素列阵探测器的研制提供实验经验和基础。本书着重介绍CVD金刚石粒子探测器件的制备工艺和性能和CVD金刚石象素列阵探测器件的设计和工艺。

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