《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》邱成军 哈尔滨工业大学出版社 2016/2/1
内容简介：
《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀），表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程；最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。全书共分为10章，主要内容有：MEMS系统简介，MEMS相关力学基础，体硅加工工艺，表面微加工工艺，硅片键合工艺，LIGA技术，MEMS传感器，MES执行器，MEMS的封装，MEMS的应用及检测技术。
《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》适合高等学校微电子专业本科生和研究生学习MEMS工艺时使用，也可供相关工程技术人员参考。
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