《微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南》（美）库比　著，李会丹　等译国防工业出版社 2014/11/1

内容简介：

　　《微机电系统设计和原型设计指南》的目的是通过一个使用顶级计算机辅助设计工具进行布局布线和建模的MEMS设计体验指导学生们，以提供一个健壮的、标准多元晶圆制造工艺的设计。许多这样的工艺都有成熟的设计规则可以分离设计和制造挑战。如果遵循这些规则，学生们能够获得他们所设计的东西。然而标准工艺的使用对可以制造的设备具有一些局限性，因为层数和层厚都是通过标准流程进行设置的，这种方式被成功地用于开发一些商业上成功的MEMS设备，这些设备在本书中也有描述。

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