《电子工艺化学原理》刘钰主编电子科技大学出版社

内容简介：

现代电子科学沿着微型化、智能化、精确化和平民化的方向高速发展，集成电路技术的节点日益缩小，集成度越来越高，这势必对作为基础的新型电子材料研制和加工技术的不断革新提出了越来越高的要求。这就需要大批从业人员既通晓电子技术，又具备扎实化学功底高效地研究和解决问题，并创造性地研发出具有自主知识产权的新技术。本书正是针对这一需求，以现代电子技术为核心，以化学理论为基础，结合电子器件典型产品，论述电子工业中与化学相关的问题和原理。本书的主要内容大体分为电子工艺中的常用材料、净化工艺和集成电路制造工艺三大部分，围绕它们在生产中各种工艺的化学原理、规律、化学反应及相关材料的化学知识进行阐述。本书可作为相关学科和领域的本科生教材和参考用书，也可为相关从业人员提供参考。

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