《微机电系统技术在航空航天推进领域的应用研究》徐天彤，李海旺，陶智著河北科学技术出版社 2023/12/1

内容简介：

本书从微机电系统制造、集成、应用角度出发，深入介绍与探讨了微机电系统技术与器件在航空航天推进系统技术领域的结合点，围绕各类具有代表性航空航天微机电系统器件与系统，详细论述其发展历程、关键技术、现状与应用。同时介绍了传统IC技术的光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光等工艺，以及针对于所要实现的复杂微结构发展出的新工艺，如体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺、LIGA工艺和微机械组装技术等。

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