《无驱动结构微机械陀螺及其应用》张福学　等著 国防工业出版社 2013/12/1

内容简介：

      由张福学、张伟编著的《无驱动结构微机械陀螺及其应用(精)》全面系统地介绍了无驱动结构机械陀螺和无驱动结构微机械陀螺的原理、结构、性能及其应用。
　　《无驱动结构微机械陀螺及其应用(精)》共分四篇，第1篇共5章，主要介绍无驱动结构机械陀螺的数学模型、精度、性能、运行误差和实验研究。第2篇共5章，主要介绍旋转飞行载体用无驱动结构微机械陀螺的工作原理、误差、相移和性能实验。第3篇共6 章，主要介绍微电子机械系统的电子材料及其加工处理、MEMS用材料及其制备、标准微电子工艺、硅体的微机械加工、硅的表面微机械加工和MEMS的微立体平版光刻技术。第4篇共2章，主要介绍无驱动结构微机械陀螺在旋转飞行栽体姿态控制系统中的应用。
　　本书可供旋转飞行栽体用惯性器件和自动控制系统研制、使用单位的有关科技人员阅读，也可作为高等院校有关专业的本科生、研究生和教师的教学参考书。

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